콜로이드 실리카(Coloidal Silica)

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PROJECT

ISSUE

BEBEFIT

RESULT

CMP Slurry(Coloidal Silica) Concentration & DiaFiltration

콜로이달 실리카 농축/정제

회수율(농축율 향상) : TS 5.4% → TS 32%(VCF 10)

품질향상(DF) : 측정불가 → 780uS/cm

Membrane : 150kDa, PES / Flux : 40~60LMH / Recovery : 90%

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